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可以听海的MEMS耳朵

发布时间:2020-02-15 21:01:59

可以听海的MEMS耳朵

中北大学电子测试技术国防科技重点实验室里,党的十九大代表薛晨阳正在精心光刻校准他的一代MEMS水听器传感器的芯片。他说,我国目前的科研政策可以说是历史上的,我们要感谢这个时代

,珍惜这个时代,认真学习习三个面向的精神,为国家作出更多贡献。

在这个实验室里,有国内的微纳加工线,从原片到传感器芯片,有50多步工序,终雕刻出微米尺度的功能结构。把微机电系统(MEMS)微纳器械从传统的军事工业领域引入水听器里,薛晨阳和他的团队用了整整12年。2003年,从希腊雅典国立科技大学博士毕业后,薛晨阳谢绝国外的高薪聘请,带着自己的科研项目回到了家乡。

浩瀚的海洋中,鱼类要靠身体两侧的侧线去感知声波和水流,而人怎样才能像鱼儿一样灵敏地感知海洋世界呢?薛晨阳率领的团队研发出了灵敏的听海的耳朵,他们的MEMS水听器引入了仿鱼的纤毛结构,海洋中的任何一丝响动都能听到,它收集到的声音变成一组组数据,这些数据,可以帮助人类探索海洋世界。

薛晨阳说,我们当时在水声领域的技术和国外还是有一定差距的,利用半导体集成的加工工艺解决水声传感器的问题,这个方向,国家有重大的需求。如今,MEMS矢量水听器已经进入国家海底传感实验,并且实现了批量生产销售和工业化应用,而且还被运用到了电子听诊器中。

三尺讲台是薛晨阳的另一个战场,培养的青年教师和学生中,有两人已经获得国家青年基金。

近五年来,中北大学电子测试技术国防科技重点实验室承担了总装备部、国防科工局、科技部等高水平科研项目300余项,获得和省部级科研奖励8项,实现科技成果转化20余项,为多种国家重大工程和国防重点武器型号的研制、生产和使用提供了关键器件和核心技术。

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